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応用物理学選書 8
マイクロ加工の物理と応用
The Physics and Technology of Microfabricatino
東洋大学教授 工博 吉田善一 著
Ａ５判／246頁／定価4620円（本体4200円＋税10％）／1998年3月発行
ISBN 978-4-7853-2508-4 （旧ISBN 4-7853-2508-9）
C3042
マイクロテクノロジーは、マイクロ電子機械装置を実現するための技術であり、各種の基板製造、マイクロ加工、組立製造、評価・計測に関連する幅広い技術である。
本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである。
1．マイクロ加工の意義
2．光・電子・イオン
3，粒子と固体との相互作用
4．加工現象
5．加工装置
6．マイクロマシニング
はじめに
1．マイクロ加工の意義
1.1 マイクロ加工に求められるもの
1.2 マイクロ加工の手段
1.3 マイクロ加工の歴史
2．光・電子・イオン
2.1 粒子の概念
2.2 希薄気体の力学
2.3 プラズマ
参考書
3，粒子と固体との相互作用
3.1 加工表面
3.2 ガス‐固体表面相互作用
3.3 電子‐固体相互作用
3.4 イオン‐固体相互作用
3.5 光子‐固体相互作用
参考文献
参考書
4．加工現象
4.1 エネルギービームによる試料の温度上昇
4.2 光子，電子，イオンによるレジスト露光
4.3 プラズマシース
4.4 化学・電界・破壊加工エネルギー
4.5 シミュレーション
参考文献
参考書
5．加工装置
5.1 電子・イオンビーム加工
5.2 プラズマ加工
5.3 フォトン加工
5.4 プローブ加工
参考文献
参考書
6．マイクロマシニング
6.1 マイクロ成形加工（LIGA）
6.2 走査型プローブ顕微鏡によるナノ加工
6.3 表面微細形状制御技術
6.4 超微粒子生成技術
6.5 表面活性化接合技術
参考文献
参考書
付録
索引
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吉田 善一
よしだ よしかず
1957年 兵庫県に生まれる。神戸工業高等専門学校中退、茨城大学工学部卒業。松下電器産業株式会社生産技術研究所・中央研究所、山梨大学助教授などを経て現職。主な著書に『ラグビーの哲学』（共著、冨山房インターナショナル）、『微細加工と表面機能』（分担執筆、リアライズ理工センター）、『マイクロ波プラズマの技術』（オーム社）などがある。
（情報は初版刊行時のものから一部修正しています）
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